原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,簡稱AFM)是一種高分辨的新型顯微儀器,廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,包括半導(dǎo)體、納米功能材料、生物、化工、醫(yī)藥等研究領(lǐng)域中,成為科學(xué)研究中重要的工具之一。
原子力顯微鏡的功能特點(diǎn):
高分辨率:具有原子級(jí)別的識(shí)別能力,可以在多種環(huán)境下(空氣或者具有溶液的環(huán)境下)對(duì)各種材料和樣品進(jìn)行納米級(jí)別的觀察與探測。
廣泛適用性:既可以觀察導(dǎo)體,也可以觀察非導(dǎo)體,從而彌補(bǔ)了掃描隧道顯微鏡的不足。
三維模擬顯示:可對(duì)樣品的形貌進(jìn)行豐富的三維模擬顯示,使圖像更適合于人的直觀視覺。
粗糙度測量:可用于樣品表面微區(qū)高分辨的粗糙度測量,應(yīng)用合適的數(shù)據(jù)分析軟件能得到測定區(qū)域內(nèi)粗糙度各表征參數(shù)的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。
原子力顯微鏡的使用方法:
1.將待測樣品放置在一個(gè)平坦的基座上,并固定好,確保樣品表面干凈、光滑以及無塵等雜質(zhì)。
2.調(diào)整儀器參數(shù),通過控制電壓和掃描速度等參數(shù)來獲得成像效果,這些參數(shù)需要根據(jù)具體實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行調(diào)節(jié)。
3.在試驗(yàn)環(huán)境中建立合適的振動(dòng)隔離系統(tǒng),以降低外界震動(dòng)對(duì)成像結(jié)果的影響。
4.選擇合適的探頭(probe),探頭通常由硅或碳纖維制成,并且有不同形狀和尺寸可供選擇,根據(jù)所需解析度和測量目標(biāo)選擇合適的探頭。
5.打開設(shè)備并啟動(dòng)掃描程序,通過操縱機(jī)械臂將探針移至待測區(qū)域,并使其與樣品輕輕接觸。
6.在掃描過程中,原子力顯微鏡會(huì)記錄被測樣品表面頂部與探針間相互作用力變化情況,并轉(zhuǎn)換為圖像顯示出來。這些相互作用力包括吸引力、斥力、摩擦力等等。
7.在完成掃描之后關(guān)閉設(shè)備并保存數(shù)據(jù),對(duì)于進(jìn)一步分析或處理數(shù)據(jù)可以使用專門軟件進(jìn)行操作。